[发明专利]蒸镀掩模装置和蒸镀掩模装置的制造方法在审
| 申请号： | 201911199123.1 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110760800A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 中村友祐;冈本英介;牛草昌人 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供蒸镀掩模装置和蒸镀掩模装置的制造方法，其能够抑制在蒸镀掩模上产生皱褶或变形。蒸镀掩模装置(10)具备：蒸镀掩模(20)，其具有配置有多个第1贯通孔(25)的有效区域(22)；和安装于蒸镀掩模(20)的框架(15)，该蒸镀掩模装置具有将蒸镀掩模(20)和框架(15)互相接合的多个接合部(60)，多个接合部(60)沿着蒸镀掩模(20)的外缘(26)排列，在蒸镀掩模(20)的外缘(26)上的与相邻的两个接合部(60)之间对应的位置处形成有切口(42)。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 接合部 有效区域 接合 贯通孔 位置处 皱褶 变形 配置 制造 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀掩模装置，其具备：/n蒸镀掩模，其具有配置有多个第1贯通孔的有效区域；和/n框架，其被安装于所述蒸镀掩模，/n其特征在于，/n所述蒸镀掩模装置具有使所述蒸镀掩模和所述框架互相接合的多个接合部，/n所述多个接合部是沿着所述蒸镀掩模的外缘排列的焊接部或粘接部，/n在所述蒸镀掩模的所述外缘上的与相邻的两个所述接合部之间对应的位置处形成有切口，/n在俯视观察所述蒸镀掩模时，所述切口延伸成超过所述框架的内缘。/n
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