[发明专利]蒸镀掩模装置和蒸镀掩模装置的制造方法在审
申请号: | 201911199123.1 | 申请日: | 2017-11-29 |
公开(公告)号: | CN110760800A | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 中村友祐;冈本英介;牛草昌人 | 申请(专利权)人: | 大日本印刷株式会社 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04 |
代理公司: | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李辉;邓毅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀掩模 接合部 有效区域 接合 贯通孔 位置处 皱褶 变形 配置 制造 | ||
1.一种蒸镀掩模装置,其具备:
蒸镀掩模,其具有配置有多个第1贯通孔的有效区域;和
框架,其被安装于所述蒸镀掩模,
其特征在于,
所述蒸镀掩模装置具有使所述蒸镀掩模和所述框架互相接合的多个接合部,
所述多个接合部是沿着所述蒸镀掩模的外缘排列的焊接部或粘接部,
在所述蒸镀掩模的所述外缘上的与相邻的两个所述接合部之间对应的位置处形成有切口,
在俯视观察所述蒸镀掩模时,所述切口延伸成超过所述框架的内缘。
2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置,其特征在于,
所述蒸镀掩模具有位于相邻的两个所述切口之间的接合片,
在所述外缘上,所述切口沿着所述外缘的延伸方向具有第1宽度,所述接合片沿着所述外缘的延伸方向具有第2宽度,
所述第1宽度大于所述第2宽度。
3.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置,其特征在于,
在俯视观察时,所述蒸镀掩模具有多边形形状,
沿着构成所述多边形的一条边形成有多个所述切口。
4.根据权利要求1所述的蒸镀掩模装置,其特征在于,
所述蒸镀掩模装置具有多个所述切口,
多个所述切口包含在俯视观察所述蒸镀掩模时具有互不相同的形状和/或尺寸的两个切口。
5.根据权利要求1~4中的任意一项所述的蒸镀掩模装置,其特征在于,
所述蒸镀掩模在所述多个接合部与所述有效区域之间具有在俯视观察时不与所述框架重合的多个第3贯通孔。
6.一种蒸镀掩模装置,其具备:
蒸镀掩模,其具有配置有多个第1贯通孔的有效区域;和
框架,其被安装于所述蒸镀掩模,
其特征在于,
所述蒸镀掩模装置具有使所述蒸镀掩模和所述框架互相接合的多个接合部,
所述多个接合部是沿着所述蒸镀掩模的外缘排列的焊接部或粘接部,
所述蒸镀掩模在所述多个接合部与所述有效区域之间具有在俯视观察时与所述框架的内缘重合的多个第2贯通孔,
各第2贯通孔被配置在与相邻的两个所述接合部之间对应的位置。
7.根据权利要求6所述的蒸镀掩模装置,其特征在于,
在俯视观察时与所述框架的内缘重合的区域中,所述第2贯通孔沿着所述内缘的延伸方向具有第3宽度,位于在所述内缘的延伸方向上相邻的两个所述第2贯通孔之间的所述蒸镀掩模的金属层沿着所述内缘的延伸方向具有第4宽度,
所述第3宽度大于所述第4宽度。
8.根据权利要求6或7所述的蒸镀掩模装置,其特征在于,
所述蒸镀掩模在所述多个接合部与所述有效区域之间具有在俯视观察时不与所述框架重合的多个第3贯通孔。
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