[实用新型]一种用于半导体退火腔室的晶圆定位装置

摘要

本实用新型提供一种用于半导体退火腔室的晶圆定位装置，所述退火腔室包括载片台、腔室壁以及传送装置，所述腔室壁具有定位槽，所述晶圆定位装置至少包括：气缸，固定于所述定位槽内，并连接有充气装置；活塞，连接于气缸内；活塞杆，连接于活塞，并延伸至所述腔室壁外部；两定位板，呈第一夹角固定于所述活塞杆的端部；两支撑板，呈第二夹角套设于所述活塞杆上，并具有多个卡槽；多个定位销，各该定位销连接有弹簧，且各该定位销卡接于各该卡槽内并将各该弹簧压缩于各该卡槽内。本实用新型在退火腔室中加入了晶圆定位装置，可以有效避免晶圆位置的偏移，在晶圆位置偏移时可以有效对其进行调整，降低晶圆被刮伤及碎片的几率，提高生产的良率。

主权项

一种用于半导体退火腔室的晶圆定位装置，所述半导体退火腔室包括载片台、环绕于该载片台的腔室壁以及传送装置，所述载片台具有传送装置的收容槽，其特征在于：所述腔室壁具有多个定位槽，所述晶圆定位装置至少包括： 气缸，固定于所述定位槽内，并连接有充气装置； 活塞，连接于所述气缸内； 活塞杆，连接于所述活塞，并延伸至所述腔室壁外部； 两定位板，呈第一夹角固定于所述活塞杆的端部； 两支撑板，呈第二夹角套设于所述活塞杆上，且与所述定位板具有预设间距，所述支撑板中具有多个朝向所述定位板的卡槽； 多个定位销，各该定位销连接有弹簧，且各该定位销卡接于各该卡槽内并将各该弹簧压缩于各该卡槽内。