[发明专利]硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用的方法

摘要

一种硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，属于硅晶圆线切割领域，主要包括1）水冲洗；2）酸液浸泡；3）混合试剂浸泡；4）氧化剂浸泡；5）水养备用这五个步骤；解决了硅晶圆线切割液回收行业树脂失效后难复苏等问题。本发明引进的强氧化剂NaClO将杂质中大分子有机物氧化成小分子有机物，在高速搅拌的情况下，使其更容易与树脂分离。由于接触时间短，温度控制合理，对树脂的本体及交换基团无损坏。本发明针对由金属离子、可溶性金属络合物、可溶性硅化物、有机物等引起的离子交换树脂失效，复苏后离子交换能力均能明显恢复。通过实验检测和现场实践，复苏后离子交换树脂，其性能未发生改变，交换容量基本达到新树脂的水平。

主权项

一种硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，其特征在于，包括以下步骤：1）将待复苏离子交换树脂装入复苏桶内，并向其中加水搅拌，漂除破碎的树脂；然后将复苏桶内的水排净；2）向复苏桶中加入质量浓度为5～15%的无机酸溶液，使待复苏离子交换树脂浸泡在无机酸溶液中，去除待复苏离子交换树脂内部的金属离子；3）将无机酸溶液排净，用水冲洗经步骤2）处理后的待复苏离子交换树脂，使排放口排出的水为中性；然后，取待复苏离子交换树脂体积1～5倍的复苏液，先用一半复苏液对待复苏离子交换树脂正向流动冲洗，再将冲洗后的待复苏离子交换树脂浸泡在剩余的复苏液中，充分反应后，将复苏液排净，用水冲洗至排出液澄清透明；4）将经步骤3）处理后的待复苏离子交换树脂中的水排净，再将待复苏离子交换树脂浸泡在质量浓度为5%～20%的NaClO溶液中，浸泡2～60分钟；5）经过步骤4）处理后，将NaClO溶液排净，用水冲洗至排出液成中性，然后加水搅拌漂除破碎的树脂，再进行水养，即完成离子交换树脂的复苏。