[发明专利]硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用的方法

权利要求书

1.一种硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将待复苏离子交换树脂装入复苏桶内，并向其中加水搅拌，漂除破碎的树脂；然后将复苏桶内的水排净；

2）向复苏桶中加入质量浓度为5～15%的无机酸溶液，使待复苏离子交换树脂浸泡在无机酸溶液中，去除待复苏离子交换树脂内部的金属离子；

3）将无机酸溶液排净，用水冲洗经步骤2）处理后的待复苏离子交换树脂，使排放口排出的水为中性；然后，取待复苏离子交换树脂体积1～5倍的复苏液，先用一半复苏液对待复苏离子交换树脂正向流动冲洗，再将冲洗后的待复苏离子交换树脂浸泡在剩余的复苏液中，充分反应后，将复苏液排净，用水冲洗至排出液澄清透明；

4）将经步骤3）处理后的待复苏离子交换树脂中的水排净，再将待复苏离子交换树脂浸泡在质量浓度为5%～20%的NaClO溶液中，浸泡2～60分钟；

5）经过步骤4）处理后，将NaClO溶液排净，用水冲洗至排出液成中性，然后加水搅拌漂除破碎的树脂，再进行水养，即完成离子交换树脂的复苏。

2.根据权利要求1所述的硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，其特征在于：所述的待复苏离子交换树脂为强酸性阳树脂或强碱性阴树脂。

3.根据权利要求2所述的硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，其特征在于：所述的强酸性阳树脂为001×7凝胶型强酸性苯乙烯系阳树脂或D001强酸性大孔型苯乙烯系阳树脂；强碱性阴树脂为201×7凝胶型强碱性苯乙烯系阴树脂或D396大孔型阴树脂。

4.根据权利要求2或3所述的硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，其特征在于：所述步骤2）中，若待复苏离子交换树脂为强碱性阴树脂，则需要在加无机酸溶液前先将其转化为氯型树脂。

5.根据权利要求1所述的硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，其特征在于：所述步骤2）中，酸溶液的加入量为待复苏离子交换树脂体积的1～5倍，浸泡时间为4～8小时，每小时搅拌一次，每次搅拌的时间为5～30min。

6.根据权利要求1或5所述的硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，其特征在于：所述步骤2）中，酸溶液为盐酸溶液或硫酸溶液。

7.根据权利要求1所述的硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，其特征在于：所述步骤3）中，待复苏离子交换树脂浸泡在复苏液中的时间为6～48小时，温度保持在20～60℃，每4小时搅拌一次，每次搅拌的时间为10～30min。

8.根据权利要求1或7所述的硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，其特征在于：所述步骤3）中，复苏液由NaCl、NaOH、Na₃PO₄以及水组成，且NaCl的质量浓度为1～20%、NaOH的质量浓度为1～10%、Na₃PO₄的质量浓度为0.5～20%。

9.根据权利要求1所述的硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，其特征在于：所述步骤4）中，NaClO溶液的体积为待复苏离子交换树脂的1～3倍。

10.根据权利要求1所述的硅晶圆线切割液回收过程中失效离子交换树脂再利用方法，其特征在于：所述步骤4）中，控制NaClO溶液浸泡过程的温度不超过60℃。