[发明专利]处理和/或分析样品的粒子束装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于处理和/或分析样品(8)的粒子束装置(1)和方法。该粒子束装置(1)和该方法的特征在于样品载具(24)布置在第一位置，其中样品表面(32)平行于第一粒子束柱(2)的第一束轴(21)。样品载具(24)可以从第一位置旋转到第二位置，在第二位置，样品表面(32)垂直于第二粒子束柱(3)的第二束轴(22)。第一束轴(21)和第二束轴(22)在重合点(23)处相交。在第一位置，重合点(23)和第一粒子束柱(2)之间的距离大于样品表面(32)和第一粒子束柱(2)之间的距离。而且，在第二位置，重合点(23)和第二粒子束柱(3)之间的距离大于样品表面(32)和第二粒子束柱(3)之间的距离。

主权项

一种粒子束装置(1)，包括：至少一个第一粒子束柱(2)，其具有第一束轴(21)并且被设计用于产生第一粒子束，至少一个第二粒子束柱(3)，其具有第二束轴(22)并且设计用于产生第二粒子束，其中所述第一粒子束柱(2)和所述第二粒子束柱(3)被相对于彼此布置，使得所述第一束轴(21)和所述第二束轴(22)形成与0°和180°不同的第一角度(W1)，至少一个样品载具(24)，其能够关于旋转轴(25)旋转，其中所述旋转轴(25)与所述第一束轴(21)形成第二角度(W2)，其中所述旋转轴(25)与所述第二束轴(22)形成第三角度(W3)，其中所述第二角度(W2)和所述第三角度(W3)都与0°和180°不同，并且其中能够在所述样品载具(24)上布置具有要被处理和/或分析的样品表面(32)的至少一个样品(8)，其中，所述样品载具(24)布置在第一位置，所述样品载具(24)能够从所述第一位置旋转到第二位置，在所述第二位置，样品表面(32)被取向为垂直于所述第二束轴(22)，其中在所述第一位置，所述样品表面(32)被取向为平行于所述第一束轴(21)，所述第一束轴(21)和所述第二束轴(22)在重合点(23)处相交，并且其中在所述第一位置，所述重合点(23)与所述第一粒子束柱(2)之间的距离大于所述样品表面(32)与所述第一粒子束柱(2)之间的距离，和/或其中在所述第二位置，所述重合点(23)与所述第二粒子束柱(3)之间的距离大于所述样品表面(32)与所述第二粒子束柱(3)之间的距离，并且所述第一束轴(21)、第二束轴(22)和所述旋转轴(25)位于同一平面内。