[发明专利]处理和/或分析样品的粒子束装置和方法

权利要求书

1.一种粒子束装置(1)，包括：

至少一个第一粒子束柱(2)，其具有第一束轴(21)并且被设计用于产生第一粒子束，

至少一个第二粒子束柱(3)，其具有第二束轴(22)并且设计用于产生第二粒子束，其中所述第一粒子束柱(2)和所述第二粒子束柱(3)被相对于彼此布置，使得所述第一束轴(21)和所述第二束轴(22)形成与0°和180°不同的第一角度(W1)，

至少一个样品载具(24)，其能够关于旋转轴(25)旋转，其中所述旋转轴(25)与所述第一束轴(21)形成第二角度(W2)，其中所述旋转轴(25)与所述第二束轴(22)形成第三角度(W3)，其中所述第二角度(W2)和所述第三角度(W3)都与0°和180°不同，并且其中能够在所述样品载具(24)上布置具有要被处理和/或分析的样品表面(32)的至少一个样品(8)，

其中，

所述样品载具(24)布置在第一位置，

所述样品载具(24)能够从所述第一位置旋转到第二位置，在所述第二位置，样品表面(32)被取向为垂直于所述第二束轴(22)，其中在所述第一位置，所述样品表面(32)被取向为平行于所述第一束轴(21)，

所述第一束轴(21)和所述第二束轴(22)在重合点(23)处相交，并且其中

在所述第一位置，所述重合点(23)与所述第一粒子束柱(2)之间的距离大于所述样品表面(32)与所述第一粒子束柱(2)之间的距离，和/或其中在所述第二位置，所述重合点(23)与所述第二粒子束柱(3)之间的距离大于所述样品表面(32)与所述第二粒子束柱(3)之间的距离，并且

所述第一束轴(21)、第二束轴(22)和所述旋转轴(25)位于同一平面内。

2.根据权利要求1所述的粒子束装置(1)，其中

在所述样品载具(24)上布置具有要被处理和/或分析的样品表面(32)的至少一个样品(8)，

所述样品表面(32)具有第一表面法线(31)，并且其中

所述第一表面法线(31)与所述旋转轴(25)形成第四角度(W4)，所述第四角度(W4)与0°和180°不同。

3.根据权利要求1所述的粒子束装置(1)，其中所述样品载具(24)能够从所述第二位置旋转到所述第一位置。

4.根据权利要求1所述的粒子束装置(1)，其中在所述样品载具(24)上距离所述样品载具(24)的旋转轴(25)一可预定的距离处布置所述样品(8)，以限定所述样品表面(32)与所述第一粒子束柱(2)之间的第一工作距离，并限定所述样品表面(32)与所述第二粒子束柱(3)之间的第二工作距离。

5.根据权利要求1所述的粒子束装置(1)，其中所述粒子束装置(1)具有用于沿着所述旋转轴(25)移动所述样品载具(24)的移动装置(27)。

6.根据权利要求5所述的粒子束装置(1)，其中所述粒子束装置(1)具有至少一个控制装置(26)，用于控制所述移动装置(27)和/或用于控制所述样品载具(24)关于所述旋转轴(25)的旋转。

7.根据权利要求1所述的粒子束装置(1)，其中

所述样品载具(24)具有至少一个样品支撑件(29)，

所述样品支撑件(29)具有将所述样品(8)布置在其上的接收表面(30)，并且其中

所述接收表面(30)具有第二表面法线(31’)，其中所述第二表面法线(31’)与所述旋转轴(25)形成第五角度，所述第五角度与0°和180°不同。

8.根据权利要求2所述的粒子束装置(1)，其中

所述样品载具(24)具有至少一个样品支撑件(29)，

所述样品支撑件(29)具有将所述样品(8)布置在其上的接收表面(30)，并且其中

所述接收表面(30)具有第二表面法线(31’)，其中所述第二表面法线(31’)与所述旋转轴(25)形成第五角度，所述第五角度与0°和180°不同。

9.根据权利要求8所述的粒子束装置(1)，其中所述第一表面法线(31)和所述第二表面法线(31’)被取向为彼此平行或者相同。

10.根据权利要求1所述的粒子束装置(1)，其中

所述第一角度(W1)在15°到80°的范围中。