[发明专利]处理和/或分析样品的粒子束装置和方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种被设计来用于处理和/或分析(检验)样品的粒子束装置和方法。特别地，本发明涉及一种电子束装置和/或一种离子束装置。

背景技术

电子束装置，特别是扫描电子显微镜(SEM)或者透射电子显微镜(TEM)，被用于检验样品以获得关于特有条件下、所述样品的性质和行为的内在特性。

在SEM的情况下，通过束产生器产生电子束(以下也称为一次(primary)电子束)。一次电子束的电子被加速到可预定的能量，并且由束引导系统(特别是物镜)聚焦到要被分析的样品上(即要被分析的对象)。在SEM的情况下，具有可预定加速电压的高压电源被用于加速的目的。通过偏转装置，以并行线扫描的方式在要被分析的样品的表面之上引导一次电子束。在此情况下，一次电子束的电子与要被分析的样品的材料相互作用。特别地，作为相互作用的结果，出现相互作用粒子和/或相互作用辐射。例如，要被分析的样品发射电子(称作二次电子)，并且在要被分析的样品上背散射一次电子束的电子(称作背散射电子)。检测二次电子和背散射电子并将其用于图像生成。因此实现要被分析的样品的成像。

要被分析的样品的成像是要被分析的样品的一个可能分析形式。然而，的确已知其它分析形式。例如，检测和评估相互作用辐射(例如X射线辐射或者阴极射线发光)，以获得有关要被分析的样品的组成的结论。

另外，现有技术已知使用组合装置来处理和/或分析样品，其中电子和离子都可被引导到要被处理和/或分析的样品上。例如，已知SEM还装备有离子束柱(column)。通过布置在离子束柱中的离子束产生器，产生被用于处理样品(例如去除样品的层或者将材料施加到样品)或成像的离子。在此情况下，特别地，SEM用于观察处理，并且还用于对已处理或未处理的样品进一步分析。

此外，现有技术公开了具有带有第一束轴的第一粒子束柱的粒子束装置，其中第一粒子束柱被设计用于产生第一粒子束。另外，已知的粒子束装置具有第二粒子束柱，其配备有第二束轴并被设计用于产生第二粒子束。第一粒子束柱和第二粒子束柱相对于彼此如下布置：第一粒子束轴和第二粒子束轴形成大约50°的角。而且，已知的粒子束装置具有可以关于旋转轴旋转的样品载具(carrier)。旋转轴穿过样品载具的中心。此外，旋转轴与第一束轴形成第二角度，并且与第二束轴形成第三角度。在样品载具处，样品可被布置在样品支撑件(holder)上，其中样品具有要被处理和/或分析的样品表面。样品支撑件沿着旋转轴延伸。样品表面具有与旋转轴形成第四角度的表面法线。

关于现有技术，参考例如DE 10 2008 041 815 A1、DE 10 2007 026 847 A1和EP 1 443 541 B1。

利用现有技术中已知的粒子束装置，例如，对样品实施连续检查。特别地，这被理解为在第一步骤中通过第一粒子束第一次处理样品的样品表面。例如，样品表面的材料被移除，或者将材料施加到样品表面。为了处理样品表面，样品载具被带到相对第一粒子束柱的第一位置。然后，通过第一粒子束处理样品表面。在第二步骤中，通过第二粒子束分析经处理的样品表面。为了这个目的，样品载具被带到相对第二粒子束柱的第二位置。然后，分析经处理的样品表面。例如，通过第二粒子束成像经处理的样品表面。通常，样品载具的第二位置中的样品表面相对于第二束轴如下取向：重合点位于样品表面的平面中。重合点是第一束轴和第二束轴相交的点。在第二位置，以相对于第二束轴倾斜的方式布置要通过第二粒子束分析的样品表面。

于是，在连续检查期间，规定在第一步骤和第二步骤之间进行多次改变。为了获得样品表面的足够好的分析，特别是利用高分辨能力获得经处理的样品表面的成像，通常在第二位置的样品载具必须被移动为靠近第二粒子束柱，并且第二粒子束必须再次被聚焦到经处理的样品表面上。然而，由于该原因，对样品的连续检查变得耗时。

发明内容

因此，本发明解决涉及能够以简单快速的方式对样品进行连续检查的粒子束装置和方法的问题。

根据本发明，通过一种粒子束装置解决此问题。并提供了一种处理和/或分析样品的方法。根据以下说明书、所附权利要求和/或附图，本发明其它和/或替代特征是显而易见的。