[发明专利]具有栅极叠层的器件有效
| 申请号： | 201110368821.7 | 申请日： | 2011-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN102769029A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 庄学理;宋明相;陈国基;朱鸣;陈柏年;杨宝如 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L27/02;H01L21/28;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 陆鑫;房岭梅 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有栅极叠层的器件，该器件包括漏极、源极、以及栅极叠层。栅极叠层具有栅极介电层、直接位于栅极介电层顶部上的栅极导电层、以及直接位于栅极导电层的顶部上的第一栅极层和第二栅极层。第一栅极层的第一电阻高于第二栅极层的第二电阻。第二栅极层是导电的，与栅极导电层电连接，并且具有接触端，该接触端被配置为作为器件的栅极的接触端。还公开了该栅极叠层的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 栅极 器件 | ||
【主权项】：
一种器件，包括：栅极叠层，位于第一漏极和源极之间，所述栅极叠层具有：栅极介电层；栅极导电层，直接位于所述栅极介电层的顶部上；以及第一栅极层和第二栅极层，直接位于所述栅极导电层的顶部上，其中，所述第一栅极层具有第一电阻，所述第一电阻高于所述第二栅极层的第二电阻；并且所述第二栅极层是导电的，与所述栅极导电层电连接，并且具有接触端，所述接触端被配置为作为所述器件的栅极接触端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110368821.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
