[发明专利]导电锌-锡氧化物靶材及其制备方法与应用

摘要

本发明靶材制备领域，特别是涉及一种导电锌‑锡氧化物靶材及其制备方法与应用。本发明通过将5～20质量份的SnO粉体、80～95质量份的SnO2粉体和辅料进行预处理得到SnOx粉体，再将SnOx粉体与ZnO粉体混合造粒、加工成型、烧结，即可得到导电的锌‑锡氧化物靶材。SnO2是满价氧化物不导电，SnOx中由于失去一部分氧，造成氧空位缺陷，形成了P型半导体从而能实现导电；一定比例的用量可以将SnOx粉体中X的取值范围控制在1.80～1.95，从而将靶材电导率维持在合理范围内，因此，在将靶材运用在后续镀膜工序中时，既保证了镀膜效率，又能有效地控制镀膜成本，无需在镀膜工序中大量填充氧气，镀膜效果更好，且使用寿命更长。