[发明专利]导电锌-锡氧化物靶材及其制备方法与应用

权利要求书

1.一种导电锌-锡氧化物靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

a).将5～20质量份的SnO粉体、80～95质量份的SnO₂粉体以及第一辅料混合后进行喷雾造粒、烧结，得到SnO_x粉体；其中，x的取值范围为1.80～1.95，所述喷雾造粒的温度为200℃～300℃，所述烧结的温度为600℃～800℃，所述烧结的时间为1h～2h；

b).将所述SnO_x粉体、ZnO粉体以及第二辅料混合后进行造粒，得到锌-锡氧化物粉体；将所述锌-锡氧化物粉体加工成型，得到锌-锡氧化物靶材素坯；将所述锌-锡氧化物靶材素坯进行烧结。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤a)中所述SnO粉体的用量为5～15质量份，所述SnO₂粉体的用量为85～95质量份。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，按质量份计，步骤b)中所述SnO_x粉体的用量为30～50份，所述ZnO粉体的用量为50～70份。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤b)中所述造粒为喷雾造粒，所述喷雾造粒的温度为220℃～350℃。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤b)中所述烧结的温度为1200℃～1400℃，所述烧结的时间为6h～8h。

6.根据权利要求1～5任一项所述的制备方法，其特征在于，所述第一辅料包括第一分散剂、第一粘接剂和水；所述第二辅料包括第二分散剂、第二粘接剂和水；所述第一分散剂和所述第二分散剂独立地选自聚丙烯酰胺、聚羧酸铵盐、聚乙烯羧酸类和硬脂酸盐类中的至少一种；所述第一粘接剂和所述第二粘接剂独立地选自聚乙烯醇、丙烯酸乳液、羧甲基纤维素和聚丙烯酸酯中的至少一种。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，按质量份计，所述第一辅料包括：

第一分散剂 0.5～5份；

第一粘接剂 0.5～5份；以及

水 90～99份。

8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，按质量份计，所述第二辅料包括：

第二分散剂 0.5～5份；

第二粘接剂 0.5～5份；以及

水 90～99份。

9.一种导电锌-锡氧化物靶材，其特征在于，由权利要求1～8任一项所述的制备方法制备而成。

10.一种镀膜，其特征在于，由权利要求9所述的导电锌-锡氧化物靶材制备而成。