[发明专利]芯片防溢胶封装方法有效
申请号: | 202011221036.4 | 申请日: | 2020-11-04 |
公开(公告)号: | CN112331568B | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 陈建超 | 申请(专利权)人: | 青岛歌尔微电子研究院有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁馨怡 |
地址: | 266104 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开一种芯片防溢胶封装方法,包括如下步骤:提供一电路基板,其中,电路基板上具有裸露的芯片,芯片上背离电路基板的裸露端具有台阶;将分离膜压在芯片的裸露端,分离膜将台阶覆盖并密封,以使芯片的裸露端嵌设于分离膜;向分离膜与电路基板之间注塑塑封料,直至塑封料撑起分离膜并填充于将台阶内,以使分离膜平铺于芯片的裸露端。本发明在芯片的裸露端切割出台阶,进行防溢胶设计,并采用分离膜将芯片的裸露端及台阶覆盖并密封。注塑塑封料的过程中,分离膜随着塑封料的填充则被逐渐撑起,塑封料在靠近芯片上表面的位置时填充进台阶内,有效预防芯片塑封过程中的溢胶风险,提升产品良率,保证产品具有较佳的功能性。 | ||
搜索关键词: | 芯片 防溢胶 封装 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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