[发明专利]芯片防溢胶封装方法有效
申请号: | 202011221036.4 | 申请日: | 2020-11-04 |
公开(公告)号: | CN112331568B | 公开(公告)日: | 2022-12-23 |
发明(设计)人: | 陈建超 | 申请(专利权)人: | 青岛歌尔微电子研究院有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁馨怡 |
地址: | 266104 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 防溢胶 封装 方法 | ||
本发明公开一种芯片防溢胶封装方法,包括如下步骤:提供一电路基板,其中,电路基板上具有裸露的芯片,芯片上背离电路基板的裸露端具有台阶;将分离膜压在芯片的裸露端,分离膜将台阶覆盖并密封,以使芯片的裸露端嵌设于分离膜;向分离膜与电路基板之间注塑塑封料,直至塑封料撑起分离膜并填充于将台阶内,以使分离膜平铺于芯片的裸露端。本发明在芯片的裸露端切割出台阶,进行防溢胶设计,并采用分离膜将芯片的裸露端及台阶覆盖并密封。注塑塑封料的过程中,分离膜随着塑封料的填充则被逐渐撑起,塑封料在靠近芯片上表面的位置时填充进台阶内,有效预防芯片塑封过程中的溢胶风险,提升产品良率,保证产品具有较佳的功能性。
技术领域
本发明涉及半导体封装技术领域,特别涉及一种芯片防溢胶封装方法。
背景技术
目前,市面上为了确保芯片表面的高散热性,需使用裸露芯片封装,以利于芯片散热。但在裸露芯片封装过程中,由于塑封料里面含有25%左右的树脂,树脂颗粒小,导致塑封制程封装时,塑封料容易渗透至芯片与分离膜之间,芯片表面溢胶风险增加,从而导致产品良率和功能性不佳。
发明内容
本发明的主要目的是提出一种芯片防溢胶封装方法,旨在解决现有芯片封装过程中芯片表面溢胶风险增加的技术问题。
为实现上述目的,本发明提出一种芯片防溢胶封装方法,所述芯片防溢胶封装方法包括如下步骤:
提供一电路基板,其中,所述电路基板上具有裸露的芯片,所述芯片上背离所述电路基板的裸露端具有台阶;
将分离膜压在所述芯片的裸露端,所述分离膜将所述台阶覆盖并密封,以使所述芯片的裸露端嵌设于所述分离膜;
向所述分离膜与所述电路基板之间注塑塑封料,直至所述塑封料撑起所述分离膜并填充于将所述台阶内,以使所述分离膜平铺于所述芯片的裸露端。
优选地,所述向所述分离膜与所述电路基板之间注塑塑封料,直至所述塑封料撑起所述分离膜并填充于将所述台阶内,以使所述分离膜平铺于所述芯片的裸露端的步骤包括:
在第一预设合模压力下向所述分离膜与所述电路基板之间注塑塑封料,直至所述塑封料注塑至所述台阶边缘处;
在第二预设合模压力下向所述分离膜与所述电路基板之间继续注塑塑封料,直至所述塑封料撑起所述分离膜并填充于将所述台阶内,以使所述分离膜平铺于所述芯片的裸露端;
其中,所述第一预设合模压力小于所述第二预设合模压力。
优选地,所述第一预设合模压力为1000MPA~3000MPA;所述第二预设合模压力为3000MPA~8000MPA。
优选地,所述在第一预设合模压力下向所述分离膜与所述电路基板之间注塑塑封料,直至所述塑封料注塑至所述台阶边缘处的步骤包括:
在第一预设合模压力下以第一预设注塑压力向所述分离膜与所述电路基板之间注塑塑封料,直至所述塑封料注塑至所述台阶边缘处;
所述在第二预设合模压力下向所述分离膜与所述电路基板之间继续注塑塑封料,直至所述塑封料撑起所述分离膜并填充于将所述台阶内,以使所述分离膜平铺于所述芯片的裸露端的步骤包括:
在第二预设合模压力下以第二预设注塑压力向所述分离膜与所述电路基板之间继续注塑塑封料,直至所述塑封料撑起所述分离膜并填充于将所述台阶内,以使所述分离膜平铺于所述芯片的裸露端;
其中,所述第一预设注塑压力小于所述第二预设注塑压力。
优选地,所述第一预设注塑压力为10MPA~80MPA;所述第二预设注塑压力为80MPA~200MPA。
优选地,所述电路基板上具有多个间隔设置的所述芯片;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造