[发明专利]一种钽靶材组件的焊接方法有效
申请号: | 202011036133.6 | 申请日: | 2020-09-27 |
公开(公告)号: | CN112222593B | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K20/02 | 分类号: | B23K20/02;B23K20/24 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种钽靶材组件的焊接方法,所述焊接方法包括:对焊接面设置螺纹的钽靶材进行熔射处理,对背板的焊接面进行喷砂处理,之后将熔射处理后的钽靶材和喷砂处理后的背板进行热等静压焊接,得到钽靶材组件。本发明提供的焊接方法,通过对钽靶材表面设置螺纹并进行熔射处理同时对背板焊接面进行喷砂处理,利用二者之间的协同耦合作用实现了钽靶材组件的焊接面应力分布均匀,焊接结合率为97%以上,靶材和背板间传热性能提高10‑25%。 | ||
搜索关键词: | 一种 钽靶材 组件 焊接 方法 | ||
【主权项】:
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