[发明专利]一种钽靶材组件的焊接方法有效
| 申请号： | 202011036133.6 | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN112222593B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯娟华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K20/24 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 钽靶材 组件 焊接 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种钽靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：对焊接面设置螺纹的钽靶材进行熔射处理，对背板的焊接面进行喷砂处理，之后将熔射处理后的钽靶材和喷砂处理后的背板进行热等静压焊接，得到钽靶材组件；
所述螺纹的深度为2-4mm；所述螺纹的间距为0.6-0.8mm；所述喷砂处理后背板焊接面的粗糙度为5-7μm；所述热等静压焊接的温度为500-700℃；
所述螺纹占所述钽靶材焊接面的面积为所述钽靶材焊接面面积的55-80％；所述熔射处理的金属源为20-100μm的铝粉；所述熔射处理后靶材焊接面的粗糙度为10-25μm。
2.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述熔射处理的电流为240-260A。
3.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述熔射处理的电压为30-45V。
4.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述喷砂处理中的砂料为24#白刚玉和26#白刚玉的混合料。
5.如权利要求4所述的焊接方法，其特征在于，所述砂料中24#白刚玉和26#白刚玉的质量比为1:1。
6.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述热等静压焊接的保温时间为3-4h。
7.如权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述热等静压焊接的压强为80-120MPa。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202011036133.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
