[实用新型]反应室

摘要

本实用新型公开一种反应室，反应室本体内水平设有反应腔，上升降板的上板面沿反应腔长度方向并排固定有一组上碘钨灯，该上碘钨灯的长度方向朝反应室本体的前、后侧壁，下升降板下板面对应上碘钨灯固定有一组下碘钨灯；上、下升降板之间的区域为反应区，而下升降板的上板面配设有多组不同厚度的衬底模板，该衬底模板上的安装孔用于放置相应厚度的衬底。本案增设了上、下升降板，这样就便于根据需要调整上、下升降板之间的间距，也能使衬底模板的顶面与反应腔的下壁平齐，这样就能避免反应区处的气流场畸变。有效保证薄膜的制备质量。

主权项

1.一种反应室，其特征在于：包括反应室本体(1)和衬底模板(8)，其中反应室本体(1)的侧壁为双层中空结构，中间的空腔为水冷腔，且反应室本体(1)的外壁上接有与该水冷腔连通的进水管和出水管；所述反应室本体(1)顶部敞口，该敞口能够由密封盖(2)密封，而密封盖(2)上设有水冷却腔，且密封盖(2)上接有与该水冷却腔连通的进水管和出水管；所述反应室本体(1)内水平设有反应腔(3)，该反应腔左端的进口固定在反应室本体(1)左侧壁上的安装孔中，反应腔(3)右端的出口装在所述反应室本体(1)右侧壁上的安装孔中；所述反应腔(3)为矩形腔，该反应腔上壁与下壁之间的间距在5mm以内；所述反应腔(3)中部的上缺口处设有上升降板(4)，该反应腔中部的下缺口处对应上升降板(4)设有下升降板(5)；所述上升降板(4)的上板面沿反应腔(3)长度方向并排固定有一组上碘钨灯(6)，该上碘钨灯的长度方向朝所述反应室本体(1)的前、后侧壁，所述下升降板(5)下板面对应上碘钨灯(6)固定有一组下碘钨灯(7)；所述上升降板(4)和下升降板(5)的左、右端分别通过一个高度调整组件与反应腔(3)外表面相连，并可以在高度调整组件的作用下调整上、下升降板的高度，从而调整上、下升降板之间的间距；所述上、下升降板之间的区域为反应区，而下升降板(5)的上板面配设有多组不同厚度的所述衬底模板(8)，该衬底模板上的安装孔用于放置相应厚度的衬底。