[实用新型]一种链式蚀刻机擀液装置

摘要

本实用新型公开了一种链式蚀刻机擀液装置，包括间隔设置的第一槽体、第二槽体、以及用于在所述第一槽体与所述第二槽体之间传输硅片的多个传输滚轮，所述传输滚轮的上方、分别对应所述第一槽体和所述第二槽体处设置有两组喷淋装置，两组所述喷淋装置之间设置有用于对在所述传输滚轮上传输的硅片进行干燥的干燥装置，所述干燥装置至少包括海绵滚轮和冷风刀，且所述海绵滚轮与所述冷风刀沿着硅片的运行方向设置。该链式蚀刻机擀液装置，能够彻底清洁硅片表面的化学液，以防止硅片上携带的化学液进入并污染下一个槽体。

主权项

一种链式蚀刻机擀液装置，包括间隔设置的第一槽体(1)、第二槽体(2)、以及用于在所述第一槽体(1)与所述第二槽体(2)之间传输硅片的多个传输滚轮(3)，其特征在于，所述传输滚轮(3)的上方、分别对应所述第一槽体(1)和所述第二槽体(2)处设置有两组喷淋装置(4)，两组所述喷淋装置(4)之间设置有用于对在所述传输滚轮(3)上传输的硅片进行干燥的干燥装置，所述干燥装置至少包括海绵滚轮(5)和冷风刀(6)，且所述海绵滚轮(5)与所述冷风刀(6)沿着硅片的运行方向设置。