[实用新型]一种链式蚀刻机擀液装置有效
| 申请号： | 201620293256.0 | 申请日： | 2016-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN205473995U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 周军;党继东;刘东续 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 张海英;林波 |
| 地址： | 224431 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 链式 蚀刻 机擀液 装置 | ||
【权利要求书】：
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