[发明专利]抛光液粘度监测方法及监测装置在审
| 申请号： | 201410366726.7 | 申请日： | 2014-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN105319149A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 肖东风;贾照伟;王坚;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N11/00 | 分类号： | G01N11/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张振军 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种抛光液粘度监测方法及监测装置。本发明揭示的抛光液粘度监测方法，包括如下步骤：测量抛光液的温度和抛光液的电阻率/电导率；根据测量得到的电阻率/电导率以及抛光液的电阻率/电导率与抛光液的物理粘度之间的关系，计算出与该测量得到的电阻率/电导率相对应的物理粘度；根据测量得到的抛光液的温度和计算出的抛光液的物理粘度，计算抛光液的温度补偿粘度并将该温度补偿粘度和设定的温度补偿粘度作比较，根据比较结果调节抛光液的粘度。本发明能够实时监测抛光液的粘度，并根据抛光液的粘度变化对抛光液的粘度进行调控，使抛光液的粘度维持稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 粘度 监测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种抛光液粘度监测方法，其特征在于，包括如下步骤：测量抛光液的温度和抛光液的电阻率/电导率；根据测量得到的电阻率/电导率以及抛光液的电阻率/电导率与抛光液的物理粘度之间的关系，计算出与该测量得到的电阻率/电导率相对应的物理粘度；根据测量得到的抛光液的温度和计算出的抛光液的物理粘度，计算抛光液的温度补偿粘度,并将该温度补偿粘度和设定的温度补偿粘度作比较，根据比较结果调节抛光液的粘度。
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