[发明专利]抛光液粘度监测方法及监测装置

权利要求书

1.一种抛光液粘度监测方法，其特征在于，包括如下步骤：

测量抛光液的温度和抛光液的电阻率/电导率；

根据测量得到的电阻率/电导率以及抛光液的电阻率/电导率与抛光液的物理粘度之间的关系，计算出与该测量得到的电阻率/电导率相对应的物理粘度；

根据测量得到的抛光液的温度和计算出的抛光液的物理粘度，计算抛光液的温度补偿粘度,并将该温度补偿粘度和设定的温度补偿粘度作比较，根据比较结果调节抛光液的粘度。

2.根据权利要求1所述的抛光液粘度监测方法，其特征在于，如果该温度补偿粘度大于设定的温度补偿粘度，则向抛光液中补充去离子水，如果该温度补偿粘度小于设定的温度补偿粘度，则加热抛光液，减小抛光液中的水含量。

3.根据权利要求1所述的抛光液粘度监测方法，其特征在于，所述测量抛光液的电阻率进一步包括将两极板正相对地浸没在抛光液中并使该两极板与恒流源连接，测量两极板之间的电压并根据公式计算出抛光液的电阻率，其中，U为两极板之间的电压，S为两极板正相对的面积，I为恒流源提供的电流，L为两极板之间的间距。

4.根据权利要求1所述的抛光液粘度监测方法，其特征在于，所述测量抛光液的电阻率进一步包括将两极板正相对地浸没在抛光液中并使该两极板与恒压源连接，测量两极板之间的电流并根据公式计算出抛光液的电阻率，其中，U为两极板之间的电压，S为两极板正相对的面积，I为两极板之间的电流，L为两极板之间的间距。

5.根据权利要求3或4所述的抛光液粘度监测方法，其特征在于，所述两极板之间的间距及两极板的形状在抛光液粘度监测过程中保持不变。

6.一种抛光液粘度监测装置，其特征在于，包括：

抛光液槽，所述抛光液槽盛有抛光液；

电阻率/电导率测量装置，所述电阻率/电导率测量装置测量抛光液的电阻率/电导率；

温度测量装置，所述温度测量装置测量抛光液的温度；及

控制器，所述控制器分别与电阻率/电导率测量装置及温度测量装置连接，控制器根据电阻率/电导率测量装置测量得到的电阻率/电导率以及抛光液的电阻率/电导率与抛光液的物理粘度之间的关系，计算出与该电阻率/电导率相对应的抛光液的物理粘度，然后再根据温度测量装置测量得到的抛光液的温度和计算出的抛光液的物理粘度，计算抛光液的温度补偿粘度并将该温度补偿粘度和设定的温度补偿粘度作比较，根据比较结果调节抛光液的粘度。

7.根据权利要求6所述的抛光液粘度监测装置，其特征在于，还进一步包括：

去离子水供应装置，所述去离子水供应装置向抛光液槽供应去离子水，去离子水供应装置与控制器连接；及

加热装置，所述加热装置加热抛光液槽，使抛光液槽内的抛光液的温度升高，减小抛光液中的水含量，加热装置与控制器连接；

如果控制器计算出的抛光液的温度补偿粘度大于设定的温度补偿粘度，则控制器指令去离子水供应装置向抛光液槽中补充去离子水，如果该温度补偿粘度小于设定的温度补偿粘度，则控制器指令加热装置加热抛光液，减小抛光液中的水含量。

8.根据权利要求6所述的抛光液粘度监测装置，其特征在于，所述电阻率测量装置包括两极板、恒流源及电压表，所述两极板正相对地浸没在抛光液中，恒流源与两极板连接，电压表测量两极板之间的电压并将测量值发送至控制器，控制器根据电压表测量的电压值以及公式计算出抛光液的电阻率，其中，U为两极板之间的电压，S为两极板正相对的面积，I为恒流源的电流，L为两极板之间的间距。

9.根据权利要求6所述的抛光液粘度监测装置，其特征在于，所述电阻率测量装置包括两极板、恒压源及电流表，所述两极板正相对地浸没在抛光液中，恒压源与两极板连接，电流表测量两极板之间的电流并将测量值发送至控制器，控制器根据电流表测量的电流值以及公式计算出抛光液的电阻率，其中，U为两极板之间的电压，S为两极板正相对的面积，I为两极板之间的电流，L为两极板之间的间距。

10.根据权利要求6所述的抛光液粘度监测装置，其特征在于，所述温度测量装置为热电偶。