[发明专利]三维测量头

摘要

本发明公开了一种三维测量头，包括测杆、测杆摆动检测机构和测杆位移检测机构，所述测杆摆动检测机构包括基体和由交叉弹片构成的柔性铰链，所述柔性铰链分别设于基体的上、下两端，两者的回转中心轴线分别为X向和Y向，上、下端柔性铰链与基体之间分别设置检测X向和Y向转动量的测量元件，所述测杆连接于基体下端的柔性铰链上；所述测杆位移检测机构包括于导向机构内沿Z向上、下运动的移动杆，所述移动杆的下端连接基体上端的柔性铰链，移动杆与导向机构之间设置检测Z向位移量的测量元件和使移动杆复位的回位弹簧。本发明线性精度高，制作工艺简单，生产成本低，可替代进口产品，应用于三坐标测量机和数控机床上的工件高精度检测。

主权项

三维测量头，其特征在于：包括测杆（1）、测杆在X向和Y向的摆动检测机构和测杆在Z向的位移检测机构，所述测杆在X向和Y向的摆动检测机构由基体（2）和由交叉弹片组成的柔性铰链（3）构成，所述柔性铰链（3）分别设于基体（2）的上、下两端，两者的回转中心轴线分别为X向和Y向，上、下端柔性铰链（3）与基体（2）之间分别设置检测X向和Y向转动量的测量元件，所述测杆（1）连接于基体（2）下端的柔性铰链（3）上；所述测杆在Z向的位移检测机构包括于导向机构内沿Z向上、下运动的移动杆（4），所述移动杆（4）的下端连接基体（2）上端的柔性铰链（3），移动杆（4）与导向机构之间设置检测Z向位移量的测量元件和使移动杆（4）复位的回位弹簧（5）。