[发明专利]三维测量头

权利要求书

1.三维测量头，其特征在于：包括测杆（1）、测杆在X向和Y向的摆动检测机构和测杆在Z向的位移检测机构，所述测杆在X向和Y向的摆动检测机构由基体（2）和由交叉弹片组成的柔性铰链（3）构成，所述柔性铰链（3）分别设于基体（2）的上、下两端，两者的回转中心轴线分别为X向和Y向，上、下端柔性铰链（3）与基体（2）之间分别设置检测X向和Y向转动量的测量元件，所述测杆（1）连接于基体（2）下端的柔性铰链（3）上；所述测杆在Z向的位移检测机构包括于导向机构内沿Z向上、下运动的移动杆（4），所述移动杆（4）的下端连接基体（2）上端的柔性铰链（3），移动杆（4）与导向机构之间设置检测Z向位移量的测量元件和使移动杆（4）复位的回位弹簧（5）。

2.根据权利要求1所述的三维测量头，其特征在于：上端柔性铰链（3）的回转中心轴线上位弹片与移动杆（4）连接，下位弹片与基体（2）上端连接；下端柔性铰链（3）的回转中心轴线上位弹片与基体（2）下端连接，下位弹片与测杆（1）连接。

3.根据权利要求2所述的三维测量头，其特征在于：所述各柔性铰链（3）分别为前、后或左、右设置的两组交叉弹片。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的三维测量头，其特征在于：所述测量元件为电容传感器、或为电感传感器、或为光栅传感器、或为磁栅传感器、或为容栅传感器。

5.根据权利要求4所述的三维测量头，其特征在于：所述测量元件为包括由相互配合感应的主栅和副栅构成的容栅传感器，分别为容栅角位移传感器和容栅直线位移传感器（13）。