[发明专利]一种实现气体隔离和均匀化的喷淋头装置无效
| 申请号： | 201110363029.2 | 申请日： | 2011-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN102418086A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 龚岳俊;张瑜 | 申请（专利权）人： | 上海卓锐材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及的一种实现气体隔离和均匀化的喷淋装置，包括压盖(1)、端盖(2)、底座(3)及经紧固螺钉(7)固定于端盖(1)与底座(3)中心的喷淋头，所述的压盖(1)上设有供不同种类流体进入的进口，所述的喷淋头包括设有槽道(8.2)和筋板(8.1)的气体分隔环(8)、设有槽道(4.2)和筋板(4.1)的气体分配单元(4)和喷射室(5)，并按照气体分隔环(8)、气体分配单元(4)和喷射室(5)自上而下的顺序组装构成喷淋机构，其特征在于：所述的喷淋机构内至少设有一层能在较大压力作用下产生塑性变形、形成类似橡胶或金属一样的密封结构，而在未受挤压部位则构成流体通道的软性多孔材料(6)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 气体 隔离 均匀 喷淋 装置 | ||
【主权项】：
一种实现气体隔离和均匀化的喷淋装置，包括压盖(1)、端盖(2)、底座(3)及经紧固螺钉(7)固定于端盖(1)与底座(3)中心的喷淋头，所述的压盖(1)上设有供不同种类流体进入的进口，所述的喷淋头包括设有槽道(8.2)和筋板(8.1)的气体分隔环(8)、设有槽道(4.2)和筋板(4.1)的气体分配单元(4)和喷射室(5)，并按照气体分隔环(8)、气体分配单元(4)和喷射室(5)自上而下的顺序组装构成喷淋机构，其特征在于：所述的喷淋机构内至少设有一层能在较大压力作用下产生塑性变形、形成类似橡胶或金属一样的密封结构，而在未受挤压部位则构成流体通道的软性多孔材料(6)。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
