[发明专利]一种实现气体隔离和均匀化的喷淋头装置无效

专利信息
申请号: 201110363029.2 申请日: 2011-11-16
公开(公告)号: CN102418086A 公开(公告)日: 2012-04-18
发明(设计)人: 龚岳俊;张瑜 申请(专利权)人: 上海卓锐材料科技有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455
代理公司: 上海硕力知识产权代理事务所 31251 代理人: 王法男
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 实现 气体 隔离 均匀 喷淋 装置
【权利要求书】:

1.一种实现气体隔离和均匀化的喷淋装置,包括压盖(1)、端盖(2)、底座(3)及经紧固螺钉(7)固定于端盖(1)与底座(3)中心的喷淋头,所述的压盖(1)上设有供不同种类流体进入的进口,所述的喷淋头包括设有槽道(8.2)和筋板(8.1)的气体分隔环(8)、设有槽道(4.2)和筋板(4.1)的气体分配单元(4)和喷射室(5),并按照气体分隔环(8)、气体分配单元(4)和喷射室(5)自上而下的顺序组装构成喷淋机构,其特征在于:所述的喷淋机构内至少设有一层能在较大压力作用下产生塑性变形、形成类似橡胶或金属一样的密封结构,而在未受挤压部位则构成流体通道的软性多孔材料(6)。

2.如权利要求1所述的一种实现气体隔离和均匀化的喷淋装置,其特征在于:所述的软性多孔材料(6)设置在平面状结合的气体分隔环(8)与气体分配单元(4)之间,并与上述两者之间对应设置的一组上下槽道构成流体通道,同时也经两者之间对应设置的一组上下筋板环体边缘结合部构成密封面。

3.如权利要求1所述的一种实现气体隔离和均匀化的喷淋装置,其特征在于:所述的气体分隔环(8)与气体分配单元(4)的筋板之间呈凹凸槽型结构,所述的软性多孔材料(6)在气体分隔环(8)与气体分配单元(4)之间呈凹凸状设置,两者的槽道部为流道,两者的结合边部和筋板凹凸结合部,以及环体边缘结合部为密封面。

4.如权利要求1所述的一种实现气体隔离和均匀化的喷淋装置,其特征在于:所述的软性多孔材料(6)设置在气体分配单元(4)与喷射室(5)之间,其受挤压部位构成气体分配单元(4)与喷射室(5)结合面的密封结构,其未受挤压部位构成气体分配单元(4)下部通向喷射室(5)喷出口的流体通道。

5.如权利要求1所述的一种实现气体隔离和均匀化的喷淋装置,其特征在于:所述的软性多孔材料(6)为金属材料或非金属材料制成的网状结构体,其材质为铜合金丝、镍合金丝、特殊不锈钢合金丝或聚四氟乙烯丝中的任一种。

6.如权利要求1所述的一种实现气体隔离和均匀化的喷淋装置,其特征在于:所述的气体分隔环(8)的内平面呈“西瓜片状”分隔,所述圆片型气体分隔环表面由中心向两边形成“西瓜片状”槽道(8.2),槽道与槽道之间为弧形筋板(8.1)

7.如权利要求1所述的一种实现气体隔离和均匀化的喷淋装置,其特征在于:所述的气体分配单元(4)内平面呈“西瓜片状”分隔,所述圆片型气体分隔环表面由中心向两边形成“西瓜片状”槽道(4.2),槽道与槽道之间为弧形筋板(4.1)

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