[发明专利]一种双向引出的潘宁离子源结构在审

专利信息
申请号: 202110361044.7 申请日: 2021-04-02
公开(公告)号: CN113097037A 公开(公告)日: 2021-07-09
发明(设计)人: 周晓华;巨少甲;李杰;连百万;欧阳晓平 申请(专利权)人: 西京学院
主分类号: H01J27/04 分类号: H01J27/04;H01J27/02
代理公司: 西安智大知识产权代理事务所 61215 代理人: 杨晔
地址: 710123 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 双向 引出 离子源 结构
【权利要求书】:

1.一种双向引出的潘宁离子源结构,包括阳极筒(1),其特征在于:所述阳极筒(1)两端中间分别对称设置有阴极(2),阳极筒(1)两端与阴极(2)共同嵌于两侧陶瓷筒(3)的内侧端,陶瓷筒(3)的外侧端与磁环(4)的内侧端相连接。

2.根据权利要求书1所述的一种双向引出的潘宁离子源结构,其特征在于:所述磁环(4)、陶瓷筒(3)、阴极(2)及阳极筒(1)共轴线。

3.根据权利要求书1所述的一种双向引出的潘宁离子源结构,其特征在于:所述阴极(2)和磁环(4)中间分别开孔,其中阴极(2)内的孔直径为4-6mm;磁环(4)内的孔直径为10-12mm。

4.根据权利要求书1所述的一种双向引出的潘宁离子源结构,其特征在于:所述磁环(4)与陶瓷筒(3)外直径相等。

5.根据权利要求书1所述的一种双向引出的潘宁离子源结构,其特征在于:所述陶瓷筒(3)的内直径大于12mm。

6.根据权利要求书1所述的一种双向引出的潘宁离子源结构,其特征在于:所述阳极筒(1)采用铜材料。

7.根据权利要求书1所述的一种双向引出的潘宁离子源结构,其特征在于:所述阴极(2)采用铝材料。

8.根据权利要求书1所述的一种双向引出的潘宁离子源结构,其特征在于:所述磁环(4)为永磁铁。

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