[发明专利]涂布装置

说明书

在被涂布体(W)之上使涂布用喷嘴(10)与被涂布体相对地移动，在将涂布用喷嘴的涂液收容部(11)内的涂液从狭缝状排出口(11)向被涂布体的表面涂布涂液(P)时，在涂液供给装置(20)与涂布用喷嘴之间设置有：控制机构(22)，该控制机构对向涂液收容部的涂液的供给和停止进行控制；涂布宽度调节机构(13、13)，该涂布宽度调节机构对将涂液收容部内的涂液从狭缝状排出口向被涂布体的表面涂布的涂液的涂布宽度进行调节；以及气体供给机构(30)，该气体供给机构以恒定的压力向涂液收容部内供给气体，使存储在涂液收容部内的涂液排出。

技术领域

本发明涉及一种涂布装置，该涂布装置将在前端部设置有排出涂液收容部内的涂液的狭缝状排出口的涂布用喷嘴配置在被涂布体之上，并且从涂液供给装置向该涂布用喷嘴内部的涂液收容部内供给涂液，使所述被涂布体和涂布用喷嘴相对地移动，从而使涂液收容部内的涂液穿过所述狭缝状排出口而涂布到被涂布体的表面。特别地具有如下特征：一边如上所述使被涂布体和涂布用喷嘴相对地移动，穿过设置于涂布用喷嘴的狭缝状排出口向被涂布体的表面涂布涂液，一边改变向被涂布体的表面涂布的涂液的宽度，在向被涂布体的表面以成为圆形状等各种形状的方式涂布涂液的情况下，能够以所涂布的涂液的厚度不会产生不均匀等的方式进行涂布。

背景技术

以往，广泛利用如下的涂布装置：将在前端部设置有排出涂液收容部内的涂液的狭缝状排出口的涂布用喷嘴设置在被涂布体之上，并且从涂液供给装置穿过涂液供给管向该涂布用喷嘴内部的涂液收容部内供给涂液，使所述被涂布体和涂布用喷嘴相对地移动，从而使涂液收容部内的涂液穿过所述狭缝状排出口而涂布到被涂布体的表面。

并且，近年来，如专利文献1～4等所示，提出了如下的技术：在如上所述的涂布装置中，在将收容于涂布用喷嘴的涂液收容部内的涂液从设置在涂布用喷嘴的前端的狭缝状排出口向被涂布体的表面涂布时，一边向被涂布体的表面涂布涂液，一边改变所涂布的涂液的宽度，并向晶片等被涂布体的表面以成为圆形状等各种形状的方式涂布涂液。

在此，如上所述，在从涂液供给装置穿过涂液供给管向涂布用喷嘴内部的涂液收容部内供给涂液，并从狭缝状排出口向被涂布体的表面进行涂布时，在一边向被涂布体的表面涂布涂液，一边改变涂布的涂液的宽度的情况下，即使从涂液供给装置向涂液供给管供给涂液的压力恒定，在从涂液供给装置穿过涂液供给管向涂液收容部供给涂液时也会产生配管压损(压力损失)，从而与改变涂液的宽度而从狭缝状排出口排出的涂液的量的变化对应地，该配管压损改变，因此，存在如下问题：在涂布的涂液的宽度较宽的部分，被涂布体的表面的涂液的膜厚变薄，另一方面，在涂布的涂液的宽度较窄的部分，被涂布体的表面的涂液的膜厚变厚，从而难以以恒定的膜厚向一个被涂布体的表面涂布涂液。

因此，在专利文献3、专利文献4中，示出了如下内容：在从涂液供给装置穿过涂液供给管向涂液收容部内供给涂液时，对穿过涂液供给管向涂液收容部内供给的涂液的压力进行调节，以使该涂液收容部内的涂液的液压恒定的方式供给涂液，即使在向被涂布体的表面涂布的涂液的宽度发生变化的情况下，也使涂液以恒定的膜厚向被涂布体的表面涂布。

但是，在这样对从涂液供给装置穿过涂液供给管向涂液收容部内供给的涂液的压力进行调节，以使该涂液收容部内的涂液的液压恒定的方式向涂液收容部内供给涂液的情况下，存在结构复杂、控制非常麻烦，难以将涂液收容部内的涂液的液压调节为恒定，从而以恒定的膜厚向被涂布体的表面涂布涂液的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2014-22545号公报

专利文献2：日本专利特开2012-120938号公报

专利文献3：日本特许第4040144号公报

专利文献4：日本专利特开2018-69230号公报

发明内容

发明要解决的技术问题