[发明专利]衍射层析显微成像系统及方法

权利要求书

1.一种衍射层析显微成像系统，其特征在于，包括：

承载片，包括透明载片和反射膜，所述透明载片包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面用于承载样品，所述反射膜设置于所述第二表面上；

光路组件，用于产生参考光以及照射所述样品的入射光，并对所述参考光、第一样品光和第二样品光进行合束；

显微镜组件，用于使所述入射光通过而照射到所述样品背向所述第一表面的前表面和所述第一表面上，并且使第一样品光和所述第二样品光通过；

成像组件，用于采集合束后的所述参考光、所述第一样品光和所述第二样品光的干涉图像；

其中，所述入射光照射到所述样品的前表面时，所述入射光在所述样品的前表面上进行反射和/或穿过所述样品的前表面而生成所述第一样品光；

所述入射光照射到所述第一表面，且在所述反射膜上进行反射而照射到所述样品的背表面时，所述入射光在所述样品的背表面上进行反射和/或穿过所述样品的背表面而形成所述第二样品光；

在所述样品的前表面上进行反射而生成的所述第一样品光和/或穿过所述样品的背表面而生成的所述第二样品光直接朝向所述显微镜组件；穿过所述样品的前表面而生成的所述第一样品光和/或在所述样品的背表面上进行反射而生成的所述第二样品光在所述反射膜上反射后直接朝向所述显微镜组件。

2.根据权利要求1所述的衍射层析显微成像系统，其特征在于，所述光路组件包括：

光源，用于产生原始光；

分束器，用于对所述原始光进行分束以形成所述参考光和所述入射光；

合束器，用于对所述参考光、所述第一样品光和所述第二样品光进行合束。

3.根据权利要求2所述的衍射层析显微成像系统，其特征在于，所述光路组件还包括：

第一准直扩束器，用于对所述入射光进行准直扩束；

振镜，用于调整所述入射光的入射角度，以使所述入射光以不同的入射角经由所述合束器而入射到所述显微镜组件；

第二准直扩束器，用于对参考光进行准直扩束；

反射镜组件，用于将准直扩束后的所述参考光反射至所述合束器。

4.根据权利要求3所述的衍射层析显微成像系统，其特征在于，所述反射镜组件包括：第一反射镜和第二反射镜；

所述第一反射镜用于将准直扩束后的所述参考光反射至所述第二反射镜，所述第二反射镜用于将由所述第一反射镜反射至其上的所述参考光反射到所述合束器。

5.根据权利要求1所述的衍射层析显微成像系统，其特征在于，所述成像组件包括：偏振片和相机；

其中，合束后的所述参考光、所述第一样品光和所述第二样品光经过所述偏振片后到达所述相机。

6.根据权利要求1所述的衍射层析显微成像系统，其特征在于，所述显微镜组件包括透镜和物镜，所述入射光依序经过所述透镜和所述物镜后照射到所述样品背向所述第一表面的前表面和所述第一表面上；其中，所述第一样品光和所述第二样品光依序经过所述物镜和所述透镜后朝向所述光路组件。

7.一种衍射层析显微成像方法，其特征在于，所述方法采用了如权利要求1至6任一所述的衍射层析显微成像系统，所述方法包括：

将样品承载于所述承载片的透明载片的第一表面上，所述透明载片的与所述第一表面相对的第二表面上设置有反射膜；

利用光路组件产生参考光以及照射样品的入射光；

使所述入射光通过显微镜组件和所述反射膜而照射到所述样品背向所述第一表面的前表面和朝向所述第一表面的背表面上，以产生第一样品光和第二样品光；

使所述第一样品光和所述第二样品光通过所述显微镜组件后在所述光路组件中与所述参考光进行合束；

利用成像组件采集合束后的所述参考光、所述第一样品光和所述第二样品光的干涉图像；

其中，所述入射光照射到所述样品的前表面时，所述入射光在所述样品的前表面上进行反射和/或穿过所述样品的前表面而生成所述第一样品光；

所述入射光照射到所述第一表面，且在所述反射膜上进行反射而照射到所述样品的背表面时，所述入射光在所述样品的背表面上进行反射和/或穿过所述样品的背表面而形成所述第二样品光；

在所述样品的前表面上进行反射而生成的所述第一样品光和/或穿过所述样品的背表面而生成的所述第二样品光朝向所述光路组件；穿过所述样品的前表面而生成的所述第一样品光和/或在所述样品的背表面上进行反射而生成的所述第二样品光在所述反射膜上反射后朝向所述光路组件。