[发明专利]一种砷烷/磷烷废气处理装置及砷烷/磷烷废气处理方法

权利要求书

1.一种砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，包括储液箱、设置于所述储液箱上并与所述储液箱连通的进样装置、净化塔、喷淋系统；所述进样装置包括两端开口的连接器，所述连接器的顶端设有进气口和进液口，所述连接器通过所述储液箱的上部空间与所述净化塔连通；所述喷淋系统包括与所述储液箱连通的循环泵、连通管道、第一喷头区、第二喷头区；所述净化塔的底部结构为带孔的档板以实现所述净化塔与所述储液箱气液的流通；所述净化塔内设有第一隔板和第二隔板将所述净化塔分割为一级净化塔和二级净化塔；所述一级净化塔和二级净化塔内均装有填料；所述一级净化塔中的填料的上方设有所述第一喷头区；所述二级净化塔中填料的上方设有所述第二喷头区。

2.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，所述储液箱上安装有pH传感器、温度传感器和ORP传感器。

3.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，所述连通管道上设有温度控制装置。

4.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，所述第一隔板和所述第二隔板之间的空间形成气道供气体流通。

5.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，所述第一隔板与所述净化塔的顶端之间有空隙；所述第二隔板与所述净化塔的顶端接触。

6.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，所述第一隔板的下端由所述净化塔延伸至所述储液箱中的液面以下。

7.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，所述第二喷头区的上方设有除雾器，所述除雾器的上方设有与外界连通的排口。

8.根据权利要求1所述的砷烷/磷烷废气处理装置，其特征在于，所述喷淋系统还包括设置于所述连通管道与所述进液口之间的支液管。

9.一种砷烷/磷烷废气处理方法，其特征在于，采用权利要求1-8任一项所述的处理装置进行处理，包括以下步骤：

1)将储液箱中的吸收液输送至进样装置及第一喷头区、第二喷头区中，经第一喷头区和第二喷头区喷洒至净化塔中的填料表面；所述吸收液为次氯酸钠溶液；

2)砷烷/磷烷废气经进气口进入连接器中，与连接器中的吸收液反应进行一次净化；

3)经一次净化后的废气进入一级净化塔中与填料表面的吸收液反应进行二次净化；

4)经二次净化后的废气进入二级净化塔中进行再次净化，之后排出。

10.根据权利要求9所述的砷烷/磷烷废气处理方法，其特征在于，所述吸收液的ORP值为600～1000；所述吸收液的pH为7～9；所述吸收液的温度为18～25℃。