[发明专利]一种基于多程吸收的激光切割玻璃装置有效
申请号: | 201710363679.4 | 申请日: | 2017-05-22 |
公开(公告)号: | CN107162398B | 公开(公告)日: | 2019-06-07 |
发明(设计)人: | 王海林;鲁姣;朱晓;朱广志;朱长虹 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | C03B33/02 | 分类号: | C03B33/02 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 廖盈春;李智 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 吸收 激光 切割 玻璃 装置 | ||
1.一种基于多程吸收的激光切割玻璃装置,待切割玻璃设有第一表面和第二表面,激光产生单元射出激光波长为0.5μm~1μm,其特征在于,包括:
上反射镜组,用于改变由第一平行激光的光路后输出第一反射激光或改变由激光产生单元射出激光光路后输出第一反射激光,所述第一反射激光与上聚焦镜光轴平行;
上聚焦镜,位于所述上反射镜组与所述待切割玻璃第一表面之间,用于对所述第一反射激光进行聚焦处理后输出第二聚焦激光,并将第一吸收激光转化为第一平行激光输出;
下聚焦镜,位于所述待切割玻璃第二表面下方,其焦点与所述上聚焦镜焦点重合,其光轴与所述上聚焦镜光轴重合,用于将第二吸收激光转化为第二平行激光输出,并对第二反射激光进行聚焦处理后输出第一聚焦激光;
下反射镜组,位于下聚焦镜下方,用于改变所述第二平行激光的光路输出所述第二反射激光,所述第二反射激光与下聚焦镜光轴平行;
待切割玻璃吸收所述第二聚焦激光后由待切割玻璃第二表面输出所述第二吸收激光;待切割玻璃吸收所述第一聚焦激光后由待切割玻璃第一表面输出所述第一吸收激光。
2.如权利要求1所述的激光切割玻璃装置,其特征在于,所述上反射镜组包括2M+1个上反射镜,所述下反射镜组包括2M+1个下反射镜;其中,2M+1个上反射镜记为第1个上反射镜、第2个上反射镜、……、第2M+1个上反射镜;2M+1个下反射镜记为第1个下反射镜、第2个下反射镜、……、第2M+1个下反射镜;
每个上反射镜与所述上聚焦镜的光轴距离均相等,第2s个上反射镜与第2s+1个上反射镜相对布置;每个下反射镜与所述下聚焦镜的光轴距离相等,第2t-1个下反射镜与第2t个下反射镜相对布置;且所述第2M+1个下反射镜反射面与射入所述第2M+1个下反射镜激光垂直;
第1个上反射镜与第1个下反射镜关于上聚焦镜焦平面对称,第u个上反射镜在上聚焦镜焦平面上投影与第v个下反射镜在上聚焦镜焦平面上投影关于上聚焦镜的焦点对称,且第w个上反射镜反射面和第x个下反射镜反射面平行;其中,u的数值与v的数值相等,w的数值与x的数值相等,1≤s≤M,1≤t≤M,2≤u≤2M+1,2≤v≤2M+1,2≤w≤2M,2≤x≤2M,M≥1。
3.如权利要求1所述的激光切割玻璃装置,其特征在于,所述上反射镜组包括2N个上反射镜,所述下反射镜组包括2N个下反射镜;
2N个上反射镜记为第1个上反射镜、第2个上反射镜、……、第2N个上反射镜,2N个下反射镜记为第1个下反射镜、第2个下反射镜、……、第2N个下反射镜;
每个上反射镜与上聚焦镜的光轴距离均相等,第2i个上反射镜与第2i+1个上反射镜相对布置;且第2N个上反射镜反射面与射入第2N个上反射镜的反射面垂直;每个下反射镜与下聚焦镜的光轴距离相等,第2j-1个下反射镜与第2j个下反射镜相对布置;1≤i≤N-1,1≤j≤N;
第1个上反射镜与第1个下反射镜关于上聚焦镜焦平面对称,第k个上反射镜在上聚焦镜焦平面上投影与第l个下反射镜在上聚焦镜焦平面上投影关于上聚焦镜的焦点对称;第m个上反射镜反射面和第n个下反射镜反射面平行;其中,k的数值与l的数值相等,m的数值与n的数值相等,2≤k≤2N,2≤l≤2N,2≤m≤2N-1,2≤n≤2N-1,N≥2。
4.如权利要求1所述的激光切割玻璃装置,其特征在于,所述上反射镜组包括2M+1个上反射镜,所述下反射镜组包括2M个下反射镜;
2M+1个上反射镜记为第1个上反射镜、第2个上反射镜、……、第2M+1个上反射镜;2M个下反射镜记为第1个下反射镜、第2个下反射镜、……、第2M个下反射镜;
每个上反射镜与上聚焦镜的光轴距离均相等,第2s个上反射镜与第2s+1个上反射镜相对布置;每个下反射镜与下聚焦镜的光轴距离相等,第2t-1个下反射镜与第2t个下反射镜相对布置;
第1个上反射镜与第1个下反射镜关于上聚焦镜焦平面对称,第y个上反射镜在上聚焦镜焦平面上投影与第z个下反射镜在上聚焦镜焦平面上投影关于上聚焦镜的焦点对称,且第w个上反射镜的反射面和第x个下反射镜的反射面平行;其中,y的数值与z的数值相等,w的数值与x的数值相等,1≤s≤M,1≤t≤M,2≤y≤2M,2≤z≤2M,2≤w≤2M,2≤x≤2M,M≥1。
5.如权利要求1至4任一项所述的激光切割玻璃装置,其特征在于,所有反射镜的反射率均相同。
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