[实用新型]一种单驱动刚柔耦合精密运动平台

权利要求书

1.一种单驱动刚柔耦合精密运动平台，其特征在于，包括机座、直线导轨、刚柔耦合运动平台、直线驱动器及位移传感器，其中刚柔耦合平台包括刚性框架、柔性铰链和核心运动平台；

所述刚柔耦合平台的核心运动平台通过柔性铰链与所述刚性框架连接；

所述刚柔耦合平台的核心运动平台与直线驱动器连接，所述刚性框架通过导轨滑块与固定在所述机座上的所述直线导轨连接，所述核心运动平台在所述直线驱动器作用下带动所述柔性铰链弹性变形，并通过柔性铰链带动所述刚性框架在所述直线导轨长度方向上自由运动；

所述位移传感器与所述核心运动平台连接，用于测量核心运动平台在运动方向上的位移。

2.如权利要求1所述的单驱动刚柔耦合精密运动平台，其特征在于，所述直线驱动器为音圈电机或直线电机。

3.如权利要求1所述的单驱动刚柔耦合精密运动平台，其特征在于，在所述刚柔耦合平台的刚性框架与核心运动平台间设置有限位装置和阻尼器。

4.如权利要求1所述的单驱动刚柔耦合精密运动平台，其特征在于，刚柔耦合平台的所述核心运动平台与所述刚性框架之间的柔性铰链为对称布置。

5.如权利要求1-4其中之一所述的单驱动刚柔耦合精密运动平台，其特征在于，所述刚柔耦合运动平台为一体式加工制造。

6.如权利要求1-4其中之一所述的单驱动刚柔耦合精密运动平台，其特征在于，所述柔性铰链为直梁型或切口型柔性铰链。

7.如权利要求1-4其中之一所述的单驱动刚柔耦合精密运动平台，其特征在于，所述刚柔耦合运动平台内的核心运动平台与刚性框架还存在直线轴承、磁力支撑刚度加强结构。