[发明专利]一种水溶性高分子包覆异型硅溶胶、制备方法及应用有效
申请号: | 201611157145.8 | 申请日: | 2016-12-15 |
公开(公告)号: | CN106590530B | 公开(公告)日: | 2018-07-13 |
发明(设计)人: | 何彦刚;周建伟;王如;高宝红 | 申请(专利权)人: | 河北工业大学 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14;C08J5/14;C09G1/02 |
代理公司: | 天津翰林知识产权代理事务所(普通合伙) 12210 | 代理人: | 赵凤英;付长杰 |
地址: | 300130 天津市红桥区*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 水溶性高分子 硅溶胶 晶片表面 包覆 制备 原料重量百分比 硅溶胶原料 聚丙烯酸钠 聚丙烯酰胺 聚丙烯酸 聚多元醇 抛光过程 去离子水 物理结构 不规则 保护膜 粗糙度 抛光液 微缺陷 抛光 去除 应用 保证 | ||
1.一种水溶性高分子包覆异型硅溶胶,该异型硅溶胶的原料重量百分比组成为:
a、聚多元醇,0.01-1wt%,分子量在200-20000之间;所述聚多元醇为聚乙二醇和/或聚丙二醇;
b、水溶性高分子,0.01-5wt%,分子量在10000-500000之间;所述水溶性高分子为聚丙烯酰胺、聚丙烯酸钠、聚丙烯酸中的至少一种;
c、硅溶胶原料,5-50wt%;
d、余量为去离子水。
2.根据权利要求1所述的水溶性高分子包覆异型硅溶胶,其特征在于所述硅溶胶原料的平均粒径为10-150nm,固含量为5-50wt%。
3.根据权利要求1所述的水溶性高分子包覆异型硅溶胶,其特征在于所述水溶性高分子包覆异型硅溶胶的物理结构为两个或三个球形颗粒或者球形部分结合在一起的物理结构异型。
4.一种权利要求1或3任一所述的水溶性高分子包覆异型硅溶胶的制备方法,该方法的步骤是:
1)在30rpm转速以上搅拌下,分别将聚多元醇与水溶性高分子固体粉末完全溶解在去离子水中,分别得到聚多元醇和水溶性高分子的水溶液;
2)在30rpm转速以上搅拌下,将硅溶胶原料逐滴加入到聚多元醇的水溶液中;
3)在30rpm转速以上搅拌下,再向步骤2)得到的溶液中逐滴加入水溶性高分子的水溶液,并持续搅拌60-80分钟;
4)将步骤3)得到的溶液用1微米的滤芯过滤,滤去1微米以上大颗粒固相,即得到水溶性高分子包覆的异型硅溶胶。
5.一种蓝宝石衬底抛光液,其特征在于该抛光液采用权利要求1-4任一所述的水溶性高分子包覆异型硅溶胶作为磨料。
6.根据权利要求5所述的蓝宝石衬底抛光液,其特征在于该抛光液包括含量为1-50wt%的水溶性高分子包覆异型硅溶胶、含量为0.01-5wt%的氢氧化钾和余量的去离子水;抛光液的pH值为9.5-12.5。
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