[发明专利]一种光纤微环谐振器的制作方法及装置

权利要求书

1.一种光纤微环谐振器的制作方法，其特征在于，具体包括：

A1、在一段光纤的端面镀一层波导材料薄膜；

A2、采用激光在光纤端面的镀膜层形成一个微环；

A3、采用光纤熔融拉锥机将另一段光纤进行熔融拉锥；

A4、将带有微环的一段光纤接近熔融拉锥后的光纤，通过调节两段光纤之间的距离形成一个微环谐振器。

2.如权利要求1所述的一种光纤微环谐振器的制作方法，其特征在于，所述波导材料薄膜的折射率比所述光纤的折射率大。

3.如权利要求2所述的一种光纤微环谐振器的制作方法，其特征在于，所述波导材料薄膜为氮化硅。

4.如权利要求1所述的一种光纤微环谐振器的制作方法，其特征在于，所述步骤A1中在光纤端面的波导材料薄膜的厚度为2um～3um。

5.如权利要求1所述的一种光纤微环谐振器的制作方法，其特征在于，所述步骤A2的具体实现方法为：采用深紫外激光器对所述光纤端面的镀膜层进行曝光，首先利用带有环状结构的掩膜板对激光器的光束进行调整，所述环状结构在掩膜版的不透光部分；采用调整过后的激光束对光纤端面的镀膜层进行曝光加工，得到与所述掩膜版上的环状结构一致但大小成一定比例缩小的微环。

6.如权利要求5所述的一种光纤微环谐振器的制作方法，其特征在于，所述微环为圆形、椭圆形或者跑道型。

7.如权利要求1所述的一种光纤微环谐振器的制作方法，其特征在于，所述步骤A3中熔融拉锥后的光纤直径为2um～3um。

8.如权利要求1所述的一种光纤微环谐振器的制作方法，其特征在于，所述步骤A4的具体实现方法为：将带有微环的光纤垂直固定在一个超高精密电控位移台上，然后再用熔融拉锥后的光纤水平固定在另一个超高精密电控位移台上，使拉锥后的光纤与微环所在光纤处于一个水平面上，通过调节两个超高精密电控位移台来控制两者之间的距离，当两者之间的距离小于0.2um时，即可形成一个微环谐振器。

9.一种光纤微环谐振器的制作装置，其特征在于，包括光纤镀膜单元、激光器单元、熔融拉锥单元以及位移调节控制单元；所述光纤镀膜单元用于对一段光纤的端面进行镀膜加工；所述激光器单元用于对光纤镀膜单元镀膜完成后的一段光纤的镀膜层进行激光曝光，得到包含微环的光纤；所述熔融拉锥单元用于对另一段光纤进行熔融拉锥；所述位移调节控制单元用于固定包含微环的光纤以及熔融拉锥后的光纤，并且对包含微环的光纤以及熔融拉锥后的光纤之间的距离进行调节。

10.如权利要求9所述的一种光纤微环谐振器的制作装置，其特征在于，所述位移调节控制单元包括两台超高精密电控位移台，一台用于固定包含微环的光纤，另一台用于固定熔融拉锥后的光纤，所述位移调节控制单元将包含微环的光纤以及熔融拉锥后的光纤之间的距离调节至小于0.2um。