[发明专利]连续电镀装置

权利要求书

1.一种连续电镀装置，其特征在于，具有：

电镀槽，收容电镀液，对被搬送夹具保持并被连续搬送并且被设定为阴极的多个工件进行电镀；

多个喷嘴，在所述电镀槽内配置于与所述多个工件相向的位置，向所述多个工件喷出所述电镀液；以及

多个阳极电极，在所述电镀槽内配置于与被连续搬送的所述多个工件相向的位置，

沿所述多个工件被连续搬送的搬送方向，交替地反复配置有所述多个喷嘴的一个和所述多个阳极电极的至少一个。

2.根据权利要求1所述的连续电镀装置，其特征在于，

在从所述搬送方向观察的侧视中，所述多个喷嘴和所述多个阳极电极以重叠的位置关系配置。

3.根据权利要求1所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述多个阳极电极各自的横截面的轮廓在俯视中，以随着距电极中心线的距离远离而距所述多个工件各自的被处理面的距离变大的方式形成，其中，所述电极中心线将所述多个阳极电极的每一个分成两部分，并与所述搬送方向正交。

4.根据权利要求3所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述多个阳极电极各自的横截面的轮廓弯曲。

5.根据权利要求3所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述多个阳极电极各自的横截面的轮廓是圆。

6.根据权利要求1所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述多个阳极电极的每一个为不溶性电极。

7.根据权利要求1所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述多个喷嘴各自的横截面的轮廓为比所述多个阳极电极各自的横截面的直径小的圆。

8.根据权利要求1所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述多个喷嘴各自的横截面的中心配置在与所述多个阳极电极各自的横截面的中心相比距所述多个工件各自的被处理面的距离更短的位置。

9.根据权利要求8所述的连续电镀装置，其特征在于，

从所述多个喷嘴的每一个到所述多个工件各自的被处理面的第一最短距离（δ1）比从所述多个阳极电极的每一个到所述多个工件各自的被处理面的第二最短距离（δ2）小，

所述多个喷嘴的外径比所述第二最短距离（δ2）小。

10.根据权利要求9所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述多个阳极电极的每一个和所述多个喷嘴的每一个的第三最短距离（δ3）比所述第二最短距离（δ2）小。

11.根据权利要求10所述的连续电镀装置，其特征在于，

所述第三最短距离（δ3）为所述第一最短距离（δ1）以上（包含该值）。