[实用新型]单晶生产投料装置无效
申请号: | 97250230.0 | 申请日: | 1997-11-21 |
公开(公告)号: | CN2371201Y | 公开(公告)日: | 2000-03-29 |
发明(设计)人: | 吴胜登 | 申请(专利权)人: | 浙江硅峰电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 浙江省专利事务所 | 代理人: | 杨建民,王祥庆 |
地址: | 32430*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种直拉单晶炉单晶生产投料装置。它包括一个圆台状的筒体和设置在筒体底部的若干扇扇形门,以及位于筒体中心轴位置上的控制杆及其保护套四部分。筒体上设有定位圈、掺杂器;保护套由连接在筒体上的加强筋定位;控制杆下端是铁钉的尾部状结构,顶端设有连接槽和连接孔。它解决了现有直拉单晶炉生产单晶只能作一次性投料生产,一次(一炉)需要消耗一只石英坩埚;无法人为控制单晶纵向电阻率梯度;不能进行阶段性连续生产,每生产一炉都需停炉,设备利用率低的难题。 | ||
搜索关键词: | 生产 投料 装置 | ||
【主权项】:
1、一种单晶生产投料装置,其特征在于:它包括一个圆台状的筒体(1)和设置在筒体(1)底部的若干扇扇形门(5),以及位于筒体(1)中心轴位置上的控制杆(3)及其保护套(2)四部分;筒体(1)上端口缘有一圈帽沿状的定位圈(7);保护套(2)由连接在筒体(1)上的加强筋(8,11)定位;控制杆(3)下端设有扇形门控制台,上端伸出筒体(1)上平面及保护套(2),在其顶端设有连接槽和连接孔。
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