[实用新型]一种晶圆检测设备用放料架结构

摘要

本实用新型涉及晶圆加工设备组件技术领域，尤其涉及一种晶圆检测设备用放料架结构，包括载板、可拆卸安装在载板中部的晶圆、设置在载板外侧且包围载板的U型架和一体固定在U型架四个拐角处上的安装架，所述U型架的两个竖直端内部均设置有用于载板安拆过程中综合防划伤的防护部，所述U型架的水平端上设置有用于载板插入后限位固定的锁板部。本实用新型中，通过将原先的U型架结构进行了科学合理化改良，在U型架上设置了轮槽、插槽、转辊和侧挡条，可将载板柔性限位引导到U型架之内，有效降低了载板和U型架之间刚性接触磨损，从而延长了放料架以及载板的使用寿命。