[发明专利]一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法

摘要

本发明涉及晶圆收纳领域，具体涉及一种晶圆收纳盒、使用该收纳盒的取放装置及取放方法。本发明提供了一种晶圆收纳盒，包括：盒本体，盒本体内设置有若干镜像设置的收纳部，收纳部与盒本体滑动连接，收纳部上适于放置工件；两限位件，限位件镜像设置在盒本体两侧，限位件贯穿盒本体设置，且限位件与盒本体弹性连接；两推压件，推压件设置在盒本体底部，且两推压件分别与盒本体两侧最底部的收纳部连接；以及限位件底部与收纳部抵接，收纳部上滑动设置有浮动限位块。放置工件时，使工件倾斜摆放，以便于工件上的水向依次流动滴落。在取片时，通过向内顶推工件，以使对应工件由倾斜摆正，以使一侧凸出与其他工件，方便取片。