[发明专利]可弯曲的X射线探测器及其制备方法在审
申请号: | 202310910774.7 | 申请日: | 2023-07-24 |
公开(公告)号: | CN116940132A | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 陈卫华;宋波;徐建军;雷威 | 申请(专利权)人: | 中广核工程有限公司;东南大学 |
主分类号: | H10K30/20 | 分类号: | H10K30/20;H10K30/30;H10K30/82;H10K71/16;H10K71/12;H10K71/15 |
代理公司: | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人: | 王少虹 |
地址: | 518124 广东省深圳市大*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种可弯曲的X射线探测器及其制备方法,X射线探测器包括柔性衬底、设置在所述柔性衬底上的底电极层、依次叠设在所述底电极层上的第一半导体多晶膜层和第二半导体多晶膜层、设置在所述第二半导体多晶膜层上的顶电极层;所述第一半导体多晶膜层和所述第二半导体多晶膜层中,一者为n型半导体,另一者为p型半导体。本发明的可弯曲的X射线探测器,以柔性衬底作为基板,配合n型和p型半导体及电极等形成可弯曲的X射线探测器,具有结构简单、空间分辨率高和价格低廉的特点,适用于X射线CT成像系统。 | ||
搜索关键词: | 弯曲 射线 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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