[发明专利]一种模块化雪崩二极管阵列器件制冷封装结构及控制方法在审

专利信息
申请号: 202310902477.8 申请日: 2023-07-21
公开(公告)号: CN116936501A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 王兴;乔凯;尹飞;常宇;刘立宇;许泽方;汪韬;李鸣 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: H01L23/367 分类号: H01L23/367;H01L23/38;H01L23/34;H01L23/02;H01L27/144
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 徐秦中
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供一种模块化雪崩二极管阵列器件制冷封装结构及控制方法,用于解决现有的封装结构将TEC半导体制冷器置于真空腔内,而导致管壳体积较大、管壳腔内真空维持时间短等技术问题,或者解决现有的封装结构因将TEC半导体制冷器置于大气环境中,而降低其可靠性以及工作寿命等技术问题。本发明的制冷封装结构包括探测模块和制冷模块;探测模块包括第一管壳、导热底板、第一管帽、阵列器件、温度传感器及第一制冷单元;温度传感器位于第一制冷单元的冷面上,用于测量其冷面温度;制冷模块包括第二管壳、第二管帽及第二制冷单元;第二管壳和第二管帽围成第二腔体,第二制冷单元位于第二腔体内;导热底板与第二管壳或第二管帽连接。
搜索关键词: 一种 模块化 雪崩 二极管 阵列 器件 制冷 封装 结构 控制 方法
【主权项】:
暂无信息
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