[发明专利]一种用于光刻机的晶片吸盘结构有效
| 申请号： | 202210808113.9 | 申请日： | 2022-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN115097700B | 公开（公告）日： | 2023-10-10 |
| 发明（设计）人： | 陈炳寺 | 申请（专利权）人： | 江苏晶杰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 | 代理人： | 刘传玉 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻机技术领域，具体是涉及一种用于光刻机的晶片吸盘结构，包括机架、支撑盘、驱动机构和若干个夹持组件，支撑盘的顶部设置有若干个吸附孔，支撑盘的底部设置有第一通孔，机架上设置有若干个第一滑槽，驱动机构位于机架的底部，驱动机构包括驱动腔、推板、活动架和电磁阀，本申请通过电磁阀的设置切换支撑盘和驱动腔，使得气密性更好，从而使得支撑盘对晶片的固定更加稳定，同时通过先连通驱动腔后连通支撑盘的方式，使得支撑盘在对晶片固定的过程中，夹持组件可一直保持夹紧状态，使得晶片在吸附固定的过程中不会产生偏移，从而进一步提高固定晶片的稳定性，通过同一驱动源既可以对晶片进行位置调整还可对晶片固定，减少成本的投入。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 晶片 吸盘 结构 | ||
【主权项】：
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