[发明专利]一种多重纳米方柱阵列宽带完美吸收器有效
申请号: | 202210539500.7 | 申请日: | 2022-05-17 |
公开(公告)号: | CN114910988B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 程立文;王鑫龙;钱沁宇;王钦华 | 申请(专利权)人: | 扬州大学 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 吴旭 |
地址: | 225009 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种多重纳米方柱阵列宽带完美吸收器,在基底上依次设有锗层和硅光栅,在硅光栅上设有周期排列的铁纳米方柱阵列。在硅光栅的各行硅结构上表面,沿光栅长度方向,铁纳米方柱的高度成波浪状排列,且相邻两个铁纳米方柱高度差为dh;相邻两行硅结构上的铁纳米方柱的高度排列步调相反。本发明的完美吸收器采用的材料为成本低廉的Fe、Ge、Si,结构相对简单,并将吸收波段进一步扩大,实现了从紫外波段到近红外波段非常高的吸收。在采用理想参数情况下,实现在200nm‑2200nm波段平均96.8%的吸收率,其中490nm‑510nm达到99.96%的吸收峰值。 | ||
搜索关键词: | 一种 多重 纳米 阵列 宽带 完美 吸收 | ||
【主权项】:
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