[发明专利]测量单晶晶向的方法、系统及介质在审

专利信息
申请号: 202210343742.9 申请日: 2022-04-02
公开(公告)号: CN116930226A 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 施奇伟;刘晫苒;但承益;钟圣怡;陈哲;王浩伟 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: G01N23/203 分类号: G01N23/203;G01N23/2055;G01N23/207
代理公司: 上海段和段律师事务所 31334 代理人: 王丹东
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供一种测量单晶晶向的方法、系统及介质,涉及晶体学凝聚态物理和粒子衍射技术领域,包括:步骤S1:扫描单晶样品,录得一部分衍射图案,依据布拉格衍射条件计算标准衍射图案,配准两类衍射图案以得到各个实验衍射图案对应的晶向角、图案中心坐标值;步骤S2:根据几何关系对图案中心坐标值做拟合计算,得到样品表面相对于衍射探测器的位置;步骤S3:应用拟合所得的样品表面的位置来计算单晶样品的实际晶向角。本发明能够纠正实验操作误差、精确测量单晶晶向。
搜索关键词: 测量 单晶晶 方法 系统 介质
【主权项】:
暂无信息
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