[发明专利]一种基于MMI结构的少模波导光功率分配器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210079812.4 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114153027A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王希斌;孙士杰;林柏竹;朱穆;廉天航;孙雪晴;车远华;张大明 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种基于MMI结构的少模波导光功率分配器及其制备方法，属于平面光波导器件及其制备技术领域。整个器件基于MMI光波导结构，从左至右沿光的传播方向，依次由输入少模直波导、输入锥形波导、多模干涉波导、第一输出锥形波导和第二输出锥形波导、第一输出少模直波导和第二输出少模直波导构成；或由输入少模直波导、输入锥形波导、多模干涉波导、第一输出锥形波导和第二输出锥形波导、第一输出少模直波导和第二输出少模直波导构成；本发明的波导型模式功率分配器结合了MMI光波导结构工艺容差大、尺寸小的特点，实现了可同时对两个和三个光学模式进行功率分配的目的；本发明具有器件生产成本低、效率高、能够大规模批量生产的优良效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mmi 结构 波导 功率 分配器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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