[发明专利]一种基于Y分支结构的模式不敏感的光功率分配器及其制备方法有效
| 申请号： | 202210079810.5 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114153026B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 王希斌;孙士杰;林柏竹;廉天航;朱穆;车远华;孙雪晴;张大明 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种基于Y分支结构的模式不敏感的光功率分配器及其制备方法，属于平面光波导光功率分配器及其制备技术领域。整个器件基于Y分支结构，从左到右依次由输入直波导，输入锥形波导，两个相同结构弯曲波导组成的3‑dB Y分支分束器，第一输出直波导和第二输出直波导构成一分二的光功率分配器，进行级联后可以得到一分四的光功率分配器。本发明采用硅片作为衬底，以有机聚合物材料作为光波导的上、下包层，以另一种聚合物作为光波导结构的芯层(芯层材料的折射率大于包层材料的折射率)，利用了有机聚合物材料加工性强、种类繁多的优势。同时，本发明采用的制备工艺简单且与半导体工艺兼容、易于集成、能够大规模生产，具有重要的实际应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 分支 结构 模式 敏感 功率 分配器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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