[发明专利]一种模式不敏感的光波导型光开关及其制备方法在审
| 申请号： | 202210079809.2 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114153025A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王希斌;孙士杰;林柏竹;朱穆;廉天航;车远华;孙雪晴;张大明 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122;G02B6/125 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种模式不敏感的光波导型光开关及其制备方法，属于平面光波导光开关及制备技术领域。本发明采用硅片作为衬底，以有机聚合物材料作为波导的下包层和上包层、以热光系数较大的有机聚合物材料作为波导的芯层，制备得到了模式不敏感的光波导型光开关。本发明充分利用了有机聚合物材料种类多样、加工性强和热光系数大的优势，通过改变调制臂的温度来改变调制臂的折射率，进而改变调制臂中光的相位，达到改变光的输出端口的目的；通过反应离子刻蚀来调整调制臂的厚度，使得不同模式的有效折射率几乎相同，进而使得不同的光学模式所需的调制温度相同，以达到模式不敏感的目的。本发明成本低廉、制备效率高，适合于批量生产实际应用的平面光波导光开关。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模式 敏感 波导 开关 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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