[发明专利]一种多层结构的高稳定性无机电介质非晶薄膜电容器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210073512.5 | 申请日： | 2022-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN114373630A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 曹明贺;黄瑞;王鸿业;郝华;尧中华;刘韩星 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | H01G4/12 | 分类号： | H01G4/12;H01G4/30;H01G4/33 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 李艳景 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层结构的高稳定性无机电介质非晶薄膜电容器及其制备方法。依次包括基板、中间层和顶电极层；其中，所述中间层由n层非晶陶瓷薄膜层和(n‑1)层电极层交替叠加而成。其制备为：通过采用溶胶‑凝胶法制备非晶陶瓷薄膜，采用磁控溅射法制备电极层交替叠加成多层结构，再将多层结构进行退火，即可得到非晶薄膜电容器。该无机电介质非晶薄膜电容器具有高介电常数、储能密度和高温度稳定性的优点，在宽温度范围内具有优异的介电和温度稳定性，并有效提高了薄膜电容器的体积效率，符合器件小型化与集成化的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 结构 稳定性 无机 电介质 薄膜 电容器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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