[发明专利]用于减少硅生产过程中的硅晶体摇晃及跌落的系统及方法在审
| 申请号： | 202180052421.7 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN116096946A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 陆征;陈智勇;蔡丰键;林姗慧 | 申请（专利权）人： | 环球晶圆股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 江葳 |
| 地址： | 中国台湾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于通过丘克拉斯基(Czochralski)法来产生硅晶锭的方法包含使含有硅熔体的坩埚旋转，使所述硅熔体与晶种接触，在所述坩埚围绕对称轴旋转的同时沿所述对称轴从所述硅熔体撤回所述晶种以形成硅晶锭，及诱发所述硅晶锭中的电流以抵抗所述硅晶锭远离所述对称轴的移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 减少 生产过程 中的 晶体 摇晃 跌落 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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