[发明专利]场效应管的测试方法在审
| 申请号： | 202110852071.4 | 申请日： | 2021-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN113740691A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 葛伟坡;潘建峰;章志强;刘春胜;王丽高 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰集昕微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;甄丹凤 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种场效应管的测试方法，该测试方法包括：在所述场效应管的源极和漏极之间施加第一电流，以释放沟道区电荷；在所述场效应管的源极和漏极之间施加第二电流，以测试源极和漏极之间的电压，其中，所述第一电流大于所述第二电流；场效应管的源极和漏极之间具有寄生二极管，所述第二电流反向流过寄生二极管时，源极和漏极的电压表征所述场效应管的漏源击穿电压。本发明提供的场效应管的测试方法通过在所述场效应管的源极和漏极之间施加第一电流，将沟道区电荷导出，排除了沟道区电荷的影响，从而使得良率提升。 | ||
| 搜索关键词： | 场效应 测试 方法 | ||
【主权项】：
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