[发明专利]原子力显微镜中磁驱探针动态性能的标定方法有效
| 申请号： | 202110648272.2 | 申请日： | 2021-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN113391096B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 谢晖;孟祥和;吴晓茉;李诗诗;张号 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01Q40/00 | 分类号： | G01Q40/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 张利明 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种原子力显微镜中磁驱探针动态性能的标定方法，属于材料物理特性标定技术领域。本发明针对由幅频曲线计算出的探针动态性能参数存在误差的问题。包括：由探针在空气中的幅频特性曲线得到探针的共振频率和品质因子；再结合探针在自由状态下的动力学方程和简谐振动的位移方程，得到磁驱动线圈在扫频频率范围内任一频率与选定频率磁场等效驱动力的比值，从而得到磁场强度比值与驱动频率的关系曲线来修正目标探针在液体中进行恒电压振幅磁驱动扫频振动获得的幅频特性曲线，利用修正后液体中幅频特性曲线进行目标探针动态性能的精确标定。本发明用于探针动态性能的标定。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 中磁驱 探针 动态 性能 标定 方法 | ||
【主权项】：
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