[发明专利]一种半导体生产线自适应动态调度装置有效

专利信息
申请号: 202110630122.9 申请日: 2021-06-07
公开(公告)号: CN113357504B 公开(公告)日: 2023-03-14
发明(设计)人: 刘冲;刘丹;刘国太 申请(专利权)人: 深圳市博扬智能装备有限公司
主分类号: F16M11/22 分类号: F16M11/22;F16M11/08;F16M11/18;F16M11/16;H05K7/20;B08B1/04;B08B13/00;B01D46/10
代理公司: 深圳市正德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44548 代理人: 杨佳龙
地址: 518000 广东省深圳市宝安区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及半导体生产技术领域,具体为一种半导体生产线自适应动态调度装置,包括底座,所述底座顶部的一侧安装有操纵台,且操纵台的底部设置有储物室,并且储物室上的的操纵台表面固定有控制面板,所述操纵台的顶端安装有显示框,所述底座的另一侧设置有调度台,且调度台的表面设置有放置框,所述调度台的内部设置有转动机构,所述转动机构一侧的调度台内部设置有调节机构。本发明不仅现了调度装置旋转与升降的双调节功能,延长了调度装置的使用周期,而且避免了调度装置使用时发生显示屏的灰尘堆积现象。
搜索关键词: 一种 半导体 生产线 自适应 动态 调度 装置
【主权项】:
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