[发明专利]一种基于正交极化与周期结构设计的压电叠堆致动器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110583370.2 | 申请日： | 2021-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN113394334B | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 刘迎春;张洪军;刘琳婧;姜桂铖;杨彬;曹文武 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/083;H01L41/09;H01L41/257;H01L41/277;H01L41/297;H01L41/43 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 王芳 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于正交极化与周期结构设计的压电叠堆致动器及其制备方法，属于集成电路装备制造领域。本发明解决了现有压电叠堆致动器极化方向与电场方向不能正交相容的问题。本发明通过设计图案电极及压电单元层的排列，构建正交极化与周期结构设计的压电叠堆致动器，该压电叠堆致动器因非180°电畴翻转产生的应变，是线性压电效应的～5倍，在20kV/cm驱动电场下，输出应变高于0.6％，远优于现有压电叠堆致动器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 正交 极化 周期 结构设计 压电 叠堆致动器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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